SuperViewW1光學(xué)輪廓儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，還具有測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。它以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),，既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1,、用于太陽能電池測量,；

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測量；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量,；

4、用于機(jī)械部件的計(jì)量,；

5,、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量,。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀作為非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器,，測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量,，非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件,。特別對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果,。